MYS Series – MYW10 Plasma System Pinapagana ang lubos na nababaluktot, high-throughput na mga proseso ng paggamot sa ibabaw ng wafer Sa mabilis na paglaki ng electronics assembly at semiconductor market, ang mga pangangailangan ng industriya para sa kahusayan at pagiging maaasahan ng produksyon ay patuloy na tumataas. Sa pamamagitan ng pag-aalis ng mga oras ng paghihintay na nauugnay sa tradisyunal na pagpoproseso ng plasma na nakabatay sa vacuum, ang kagamitan sa paglilinis ng serye ng MYS ay naghahatid ng mas mataas na throughput at pinabuting pangkalahatang mga ani, habang tinitiyak ang ligtas na pangangasiwa sa lahat ng sensitibong bahagi ng elektroniko.
Ang CKD Technology ay hindi lamang may mga bagong makina na may stock, na magagamit kaagad.
Mayroon din kaming detalyadong negosyo sa pag-upa, na handang ihatid ang iyong partikular na pangangailangan sa produksyon habang makabuluhang binabawasan ang iyong paunang puhunan. Makipag-ugnayan sa amin para sa higit pang mga detalye.
Ang CKD ay may pangkat ng mga propesyonal na inhinyero, na handang maghatid ng turn key na serbisyo.
Para sa pangangalakal ng mga ginamit na makina, mangyaring makipag-ugnayan sa amin sa pamamagitan ng Whatspp o email.
Ang MYW10 plasma system ay naghahatid ng isang napaka-flexible, high-throughput na proseso ng paggamot sa ibabaw ng wafer.
• Atmospheric-pressure argon plasma system
• 100mm-wide inline plasma batch processing; nag-aalok ng 2–5 beses na mas mataas na kahusayan at higit sa 30% na mas mababang mga gastos sa pagpapatakbo kumpara sa mga tradisyonal na pamamaraan
• 100% neutral na plasma; ligtas at banayad sa mga sensitibong bahagi ng elektroniko—walang pagbobomba ng plasma, static na kuryente, sparks, arcing, alikabok, mataas na init, ripples sa ibabaw, o UV radiation, na tinitiyak na walang pinsala sa produkto
• Maraming gamit na proseso ng kemikal: Proseso ng O2 para sa pag-alis ng mga organikong kontaminant; Proseso ng H2 para sa pag-alis ng mga metal oxide at pag-activate ng mga ibabaw ng produkto
• Hindi nagdudulot ng kontaminasyon ng butil o pagbabago sa pagkamagaspang sa ibabaw ng wafer
• Tugma sa paggawa ng wafer at tape frame, na nagbibigay-daan para sa mabilis na paglipat sa pagitan ng dalawa
• Nakakatugon sa mga pamantayan ng Class 10 cleanroom at SEMI
Mga pagtutukoy
Mga Pangunahing Parameter
MYW10
Mga Kinakailangan sa Power
AC 380V, 13kW, 20A, 50/60Hz
Mga Kinakailangan sa Air Pressure
90psi (6bar)
Mga sukat
2000 x 2800 x 2200 mm
Timbang
2200 kg
Mga Pamantayan sa Sertipikasyon
SEMI S2/S6/S8
Katumpakan ng Pagpoposisyon
XY: ±20 µm @ 3σ; Z: ±10 µm @ 3σ
XYZ-Axis Repeatability
XY: ±10 µm @ 3σ; Z: ±5 µm @ 3σ
Pinakamataas na Bilis
1000 mm/s (XY)
Pagpapabilis
1.0g
Sistema ng Pagmamaneho
AC servo
Mga Detalye ng Platform ng Trabaho
Paraan ng Paglo-load/Pagbaba
OHT + Load Port + Robotic Arm
Robotic Arm Payload
3 kg
Katugmang Laki ng Wafer
12-pulgada (300 mm)
Software Operating System
Windows 10
X/Y Paglalakbay
400 mm / 500 mm
Z-Axis Travel
20mm
Protokol ng Komunikasyon
SECS/GEM
Saklaw ng Operating
Lugar ng Paggamot sa Plasma (W×D)
300×300mm
Post-treatment Water Contact Angle (WCA)
WCA < 10° (Silicon wafer)
Paraan ng Paggamot sa Plasma
Proseso ng O2 para sa pag-alis ng mga organikong kontaminado Proseso ng H2 para sa pagtanggal ng metal oxide
Mga Kinakailangan sa Sistema ng Plasma
RF Power
600W sa 27.12MHz
Pangunahing Plasma Gas
Argon
Proseso ng Gas
O2, N2, o H2
Saklaw ng Presyon ng Gas Supply
40–100 psi (0.3–0.7 MPa)
Mga Hot Tags: MYW10 Chain Manufacturer, MYW10 Chain Supplier, Durable Industrial Chain Wholesale
Kung mayroon kang anumang katanungan tungkol sa isang panipi o pakikipagtulungan, mangyaring huwag mag-atubiling mag-email o gamitin ang sumusunod na form ng pagtatanong. Makikipag-ugnayan sa iyo ang aming sales representative sa loob ng 24 na oras.
Gumagamit kami ng cookies para mag-alok sa iyo ng mas magandang karanasan sa pagba-browse, pag-aralan ang trapiko sa site at i-personalize ang content. Sa paggamit ng site na ito, sumasang-ayon ka sa aming paggamit ng cookies.Patakaran sa Privacy